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제품
시트 저항및 누설 전류
FSM RsL 100: USJ FSM 4PP를 위한 비 접촉 Rs 및 누설
RsL-LDHE-적은양의 새로운 불순물 첨가나 고 에너지 시스템
RsL-Solar & MCL-태양 전지 응용을 위해 인 라인 시트 저항 및 마이노리티 캐리어 수명 측정
4PP TCR- 500°C 이상의 온도 까지 시트 저항 측정
금속 오염
FSM MC100 (생산용 웨이퍼)
등가 산화물 두께
FSM EOT (생산용 웨이퍼)
FSM RsL 100: USJ FSM 4PP를 위한 비 접촉 Rs 및 누설
RsL-LDHE-적은양의 새로운 불순물 첨가나 고 에너지 시스템
RsL-Solar & MCL-태양 전지 응용을 위해 인 라인 시트 저항 및 마이노리티 캐리어 수명 측정
4PP TCR- 500°C 이상의 온도 까지 시트 저항 측정
금속 오염
FSM MC100 (생산용 웨이퍼)
등가 산화물 두께
FSM EOT (생산용 웨이퍼)
전기 계측 기술
| 시트저항 및 누설전류 FSM RsL100: USJ(Ultra Shallow Junction)를 위한 비접촉 Rs와 누설 전류 CMOS제조 기술의 이온주입 및 어닐 공정 후의 시트저항 및 누설전류의 모니터링을 비접촉 방식으로 측정합니다. 4 포인트 프로브 금속오염 생산 웨이퍼를 위한 FSM MC100 등가 산화물 두께 생산 웨이퍼를 위한 FSM EOT |
프론티어 뉴스
FSM은 기술적 가치와 솔루션을 첨단의 장비를 통해 고객에게 제공합니다.
태양전지에서 비접촉 저항측정
FSM RTH 표면 프로파일러
VideoMic과 InnerVision
Auto IC de-caper
Resistivity with heat up to 500C
태양전지에서 비접촉 저항측정
FSM RTH 표면 프로파일러
VideoMic과 InnerVision
Auto IC de-caper
Resistivity with heat up to 500C