FSM
製品
- 絶縁膜、有機膜と金属膜用ストレス履歴
- FSM500TC (マップ機能付)
- FSM900TC-vac (真空引き/窒素パージ)
- FSM TCVac-Cu-300 (300mm Cu膜測定用)
- 密着度定量測定機
- Aquaflex (4点曲げ方式)
- Laminar (真空引き/窒素パージ)
- Die Flexer
材料特性
| 絶縁膜、有機膜と金属膜用ストレス履歴 FSM500TC (マップ機能付) FSM900TC-vac (真空引き/窒素パージ) FSM TCVac-Cu-300 (300mm Cu膜測定用) |
| 密着度定量測定機 Aquaflex (4点曲げ方式) Laminar (真空引き/窒素パージ) Die Flexer |


