FSM
製品
シート抵抗と漏れ電流
FSM RsL100 非接触Rs, USJ用漏れ電流FSM 4PP (4短針測定装置)
RsL-LDHE : 新低ドーズ・ 高エネルギー装置
RsL-Solar & MCL : インライン シート抵抗及びマイノリティー キャリアライフタイム測定 (ソーラーセル用途)
4PP TCR : 500℃までの温度でのシート抵抗
金属汚染
FSM MC100 (製品ウェハ用途)
酸化膜厚(CV)
FSM EOT (製品ウェハ用途)
FSM RsL100 非接触Rs, USJ用漏れ電流FSM 4PP (4短針測定装置)
RsL-LDHE : 新低ドーズ・ 高エネルギー装置
RsL-Solar & MCL : インライン シート抵抗及びマイノリティー キャリアライフタイム測定 (ソーラーセル用途)
4PP TCR : 500℃までの温度でのシート抵抗
金属汚染
FSM MC100 (製品ウェハ用途)
酸化膜厚(CV)
FSM EOT (製品ウェハ用途)
電気測定技術
| シート抵抗と漏れ電流 FSM RsL100 非接触Rs, USJ用漏れ電流 FSM 4PP (4短針測定装置) 金属汚染 FSM MC100 (製品ウェハ用途) 酸化膜厚(CV) FSM EOT (製品ウェハ用途) |