FSM

FRONTIER SEMICONDUCTOR

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アプリケーション

薄膜応力
ラマン分光原理
熱ストレス分析理論
エコプローブによる厚さ測定
非接触シート抵抗及び漏れ電流測定　RsL
金属汚染(MC)　及び酸化膜厚測定(EOT)
4点曲げ式密着度測定
Melt式密着度測定

アプリケーション

ストレスとストレイン

膜ストレスとウェハ反り
ローカルストレスと平坦度
マイクロラマンでの格子ストレス
ストレス履歴(ストレス　対　温度)

シート抵抗と漏れ電流

USJ (pn-ジャンクション)

トポグラフィー、ウェハとメンブレン厚さ
材料特性

密着度
金属汚染
酸化膜厚さ (CV)
TDS
反射率

Photovoltaic

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フロンティア　ニュース

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FSM RTH surface roughness profiler

VideoMic and InnerVision

Auto IC de-caper

Resistivity with heat up to 500C